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四探针电阻率测试仪

简要描述：四探针电阻率测试仪仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成，测量数据既可由主机直接显示，亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析，然后以表格，图形方式统计分析显示测试结果。

产品型号：RTS-4
厂商性质：生产厂家
更新时间：2026-04-21
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实验室仪器

冰点仪量热仪提取仪马弗炉一体机选择器系统振筛机磨片机磁力仪赶酸仪点样仪混调器提取器扩散仪脱水仪水浴锅匀浆仪过滤器旋转仪烤胶机干馏仪旋涂仪传感器装置均质器氮吹仪白度仪分散机摊片机吹气仪发生器消解仪加热板电热板铁谱仪油滴仪高斯计比色计混合器均质机膨胀仪稀释仪天平校准器烘片机硫化仪热源仪张力仪磨粉机涂膜机粉碎磨冲片机崩解仪辊压机配气仪萃取仪烘干器成型机搅拌器应变仪加热器匀胶机镀膜机碾米机蒸馏仪涂布机试验机处理仪测汞仪振动筛真空计试验仪测厚仪实验仪校验仪色谱箱测定仪磁导率仪封口机评价仪密度仪试验器清洗机定氮仪混匀仪加热仪纯水机点样器实验室加热辊压机盖格计数器展开仪结晶点仪紫外线强度仪三相多功能相位伏安表吴茵混调器容重仪双盘红外烘干器机械故障听诊器堆密度仪智能片剂两用仪气体自动负压采样器深视力测试仪彩色分辨视野计匀浆机破碎仪快速智能定硫仪容栅式雨量计薄层色谱扫描仪水浴氮吹仪湿球黑球温度指数仪薄层色谱成像仪便携式涡流导电仪冲灌装压盖一机静态电阻应变仪高温湿度测温仪实验装置空压机制样机振荡器检测仪离心机专用仪器仪表

品牌	其他品牌	产地类别	国产
应用领域	环保,化工,生物产业,石油,制药/生物制药

四探针电阻率测试仪 单测四探针检测仪(接电脑）型号：RTS-4

运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的，专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器。
    仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成，测量数据既可由主机直接显示，亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析，然后以表格，图形方式统计分析显示测试结果。
    仪器采用了电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。
    本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。
四探针软件测试系统是一个运行在计算机上拥有友好测试界面的用户程序，通过此测试程序辅助使用户简便地进行各项测试及获得测试数据并对测试数据进行统计分析。
    测试程序控制四探针测试仪进行测量并采集测试数据，把采集到的数据在计算机中加以分析，然后把测试数据以表格，图形直观地记录、显示出来。用户可对采集到的数据在电脑中保存或者打印以备日后参考和查看，还可以把采集到的数据输出到Excel中，让用户对数据进行各种数据分析
四探针电阻率测试仪技术参数：

测量范围	电阻率：0.001～200Ω.cm(可扩展)；方块电阻：0.01～2000Ω/□(可扩展)；电导率：0.005～1000 s/cm；电阻：0.001～200Ω.cm；
可测晶片直径	140mmX150mm(配S-2A型测试台)； 200mmX200mm(配S-2B型测试台)； 400mmX500mm(配S-2C型测试台)；
恒流源	电流量程分为0.1mA、1mA、10mA、100mA四档，各档电流连续可调
数字电压表	量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　分辨力：10μV；输入阻抗：>1000MΩ；精度：±0.1% ；显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示；
四探针探头基本指标	间距：1±0.01mm；针间绝缘电阻：≥1000MΩ；机械游移率：≤0.3%；探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；探针压力：5～16 牛顿(总力)；
整机测量相对误差	(用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试)≤±5%
整机测量标准不确定度	≤5%
计算机通讯接口	并口
标准使用环境	温度：23±2℃；相对湿度：≤65%；无高频干扰；无强光直射；

四探针电阻率测试仪

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