光栅式示表检定仪的作原理

光栅式示表检定仪随着的发展，电子式数字化并利用微机行数据处理的计量仪器、装置得到广泛应用，并在逐步替代老式传统的纯机械式仪器。用于检定各类示表示值误差的光栅式示表检定仪就是例。

作原理

光栅式示表检定仪是利用光栅测长原理，把直线位移变成电信号，经前置放大、分相、整形、电子细分，将脉冲信号行记数和显示，并利用微处理器行数据处理，由微型打印机打印出检定数据和结果。其框图如下 。

光栅测长的原理是将光源发出的光，通过望远系统变为平行光，照射到栅线面相对的透射式标尺光栅和示光栅上，当标尺光栅相对固定的示光栅沿栅线垂直方向移动时，则所产生的明暗相间的莫尔条纹沿栅线方向移动。两块光栅尺相对移动个栅距，莫尔条纹的光强周期地变化次，并扫过安放在示光栅前的四只光电元件，从而产生两路正弦电信号，经电路系统处理后，变成脉冲信号。由于仪器测杆与标尺光栅刚性连接，故测杆位移L与脉冲信号的关系可用下式表达

L=A?N=

式中，A-脉冲当量;n-电路细分能力;k-光栅线纹密度;N-脉冲数。

脉冲当量是每个脉冲相当的位移尺寸。设n=100，k=100，N=1，则

L= ×1=0?1μm

上式说明，当采用100线光栅时，电信号经过100细分后，测杆每移动0?1μm，电路将给出个电脉冲。由微机记取脉冲数即可准确地得到被测尺寸大小。